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半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)零部件先進(jìn)新材料包括 Kalrez® FFKM(全氟醚橡膠), VICTREX PEEK(聚醚醚酮),DAIKIN PCTFE(聚三氟氯乙烯),3M PTFE/PFA(聚四氟乙烯),Arkema PVDF(聚偏氟乙烯)等,滿足符合SEM F57等行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)和領(lǐng)域認(rèn)證,最大程度提高關(guān)鍵半導(dǎo)體制程的良率。其中典型應(yīng)用包括閥門O型圈,門密封,CMP支撐環(huán),腔室密封等元件。
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