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    PECVD

    應用于半導體行業(yè):

    半導體加工設備-鍍膜設備-PECVD

    庫       存:

    1

    產       地:

    中國-北京市

    數       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
    交易保障 擔保交易 網銀支付

    品牌:

    型號:

    所屬系列:半導體加工設備-鍍膜設備-PECVD

     EPEE 550是一款面向LED領域的大產能PECVD設備,適用于LED芯片制造中的保護層、SWE掩膜層、CBL等工藝制程
    性能特點:
    • 支持高壓工藝,更快的沉積速率;
    • 高功率清洗技術,更好的清洗效果;
    • 支持雙頻工藝,可控制膜層應力;
    • 加熱器三區(qū)控溫,控溫能力更強;
    • 大產能高性價比
    • 大產能,更優(yōu)的大尺寸晶片容量。

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