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    擴(kuò)散爐（微控）

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備-管式爐

    產(chǎn)品品牌

    賽爾微

    庫       存：

    10

    產(chǎn)       地：

    全國(guó)

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價(jià)       格：

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌：賽爾微

    型號(hào)：

    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備-管式爐

     微控?cái)U(kuò)散爐應(yīng)用：應(yīng)用于集成電路、分立器件、光電子器件、電力電子器件、太陽能電池等領(lǐng)域，適用2~8英寸工藝尺寸

    產(chǎn)品特點(diǎn)： 
    ◆主機(jī)為水平一至四管爐系統(tǒng)構(gòu)架，能獨(dú)立完成不同的工藝或相同工藝 
    ◆工業(yè)計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)，對(duì)爐溫、進(jìn)退舟、氣體流量、閥門等動(dòng)作進(jìn)行全自動(dòng)控制 
    ◆采用懸臂式送片：操作方便、無摩擦污染等 
    ◆關(guān)鍵部件采用進(jìn)口器件，確保設(shè)備的高可靠性 
    ◆工藝管路采用進(jìn)口閥門管件組成-氣密性好、耐腐蝕、無污染（管路均采用EP級(jí)電拋光管路），氣體流量采用質(zhì)量流量計(jì)（MFC）控制 
    ◆控溫精度高，溫區(qū)控溫穩(wěn)定性好； 
    ◆具有斷電報(bào)警、超溫報(bào)警、極限超溫報(bào)警等多種安全保護(hù)功能 
    ◆高質(zhì)量的加熱爐體，確保恒溫區(qū)的高穩(wěn)定性及長(zhǎng)壽命

     

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