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    包郵 關(guān)注:1496

    SR100 光譜反射薄膜測厚儀 上海佰芯

    應用于半導體行業(yè):

    半導體測試設備-測厚設備-非接觸式測厚儀

    庫       存:

    100

    產(chǎn)       地:

    全國

    數       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
    交易保障 擔保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌:

    型號:

    所屬系列:半導體測試設備-測厚設備-非接觸式測厚儀

    SR100 光譜反射薄膜測厚儀

    ◆ 波長(cháng)范圍:250nm到1100 nm
    ◆ 光斑尺寸:500μm至5mm
    ◆ 樣品尺寸:200mmx200mm或直徑為200mm
    ◆ 基板尺寸:最多可至50毫米厚
    ◆ 測量厚度范圍:2nm到50μm
    ◆ 測量時(shí)間:最快2毫秒
    ◆ 精確度:優(yōu)于0.5%(通過(guò)使用相同的光學(xué)常數,讓橢偏儀的結果與熱氧化物樣品相比較)
    ◆ 重復性誤差:小于1

    SR100特點(diǎn)

    ◆ 易于安裝
    ◆ 基于視窗結構的軟件,很容易操作
    ◆ 先進(jìn)的光學(xué)設計,以確保能發(fā)揮出最佳的系統性能
    ◆ 基于陣列設計的探測器系統,以確??焖贉y量
    ◆ 獨特的光源設計,有著(zhù)較好的光源強度穩定性
    ◆ 有四種方法來(lái)調整光的強度:
    § 通過(guò)電源的調節旋鈕來(lái)調節電源輸出的大小
    § 在光輸出端口濾光槽內調整濾光片來(lái)調整
    § 調整光束大小
    § 通過(guò)TFProbe軟件,在探測器里調整積分時(shí)間
    ◆ 最多可測量5層的薄膜厚度和折射率
    ◆ 在毫秒的時(shí)間內,可以獲得反射率、傳輸率和吸收光譜等一些參數
    ◆ 能夠用于實(shí)時(shí)或在線(xiàn)的厚度、折射率測量
    ◆ 系統配備大量的光學(xué)常數數據及數據庫
    ◆ 對于每個(gè)被測薄膜樣品,用戶(hù)可以利用先進(jìn)的軟件功能選擇使用NK數據庫、也可以進(jìn)行色散或者復合模型(EMA)測量分析; 
    ◆ 可升級至MSP(顯微分光光度計)系統,SRM成像系統,多通道分析系統,大點(diǎn)測量。
    ◆ 通過(guò)模式和特性結構直接測量。
    ◆ 能夠應用于不同類(lèi)型、不同厚度的基片測量。
    ◆ 提供的各種配件可用于特殊結構的測量,例如通過(guò)曲線(xiàn)表面進(jìn)行縱長(cháng)測量。
    ◆ 2D和3D的圖形輸出和友好的用戶(hù)數據管理界面。

    SR100系統配置

    ◆ 型號:SR100R
    ◆ 探測器: 2048像素的CCD線(xiàn)陣列
    ◆ 光源:高穩定性、長(cháng)壽命的鹵素燈
    ◆ 光傳送方式:光纖
    ◆ 臺架平臺:特殊處理鋁合金,能夠很容易的調節樣品重量,200mmx200mm的大小
    ◆ 軟件: TFProbe 2.2版本的軟件
    ◆ 通訊接口:USB的通訊接口與計算機相連
    ◆ 測量類(lèi)型:薄膜厚度,反射光譜,折射率
    ◆ 電腦硬件要求:P3以上、最低50 MB的空間
    ◆ 電源:110–240V AC/50-60Hz,1.5A
    ◆ 保修:一年的整機及零備件保修

    SR100應用

    ◆ 半導體制造(PR,Oxide, Nitride..)
    ◆ 液晶顯示(ITO,PR,Cell gap... ..)
    ◆ 醫學(xué),生物薄膜及材料領(lǐng)域等
    ◆ 油墨,礦物學(xué),顏料,調色劑等
    ◆ 醫藥,中間設備
    ◆ 光學(xué)涂層,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
    ◆ 半導體化合物
    ◆ 在MEMS/MOEMS系統上的功能性薄膜
    ◆ 非晶體,納米材料和結晶硅


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