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    包郵 關注:606

    擴散爐 氧化爐 科研爐 實驗爐定制

    應用于半導體行業(yè)：

    半導體加工設備-爐類設備-管式爐

    產品品牌

    CL-擴散爐

    規(guī)格型號：

    定制

    發(fā)貨期限：

    60天

    庫       存：

    99

    產       地：

    中國-山東省

    數       量：

    減少 增加
    起       批 1-3件 4-5件 5件以上
    價       格 ￥185000.00 ￥178000.00 ￥168000.00
    交易保障 擔保交易 網銀支付

    客服電話：4006988696

    品牌：CL-擴散爐

    型號：定制

    所屬系列：半導體加工設備-爐類設備-管式爐

     
    臥式擴散爐--擴散爐

    擴散爐--高溫擴散爐，臥式擴散爐，晨立簡單介紹：

     

    擴散爐--高溫擴散爐，臥式擴散爐，晨立

    設備用途：用于大規(guī)模集成電路、電力電子、光    電器件、光導纖維等行業(yè)的氧化、擴散、燒結、合金等工藝。

    設備特點：單元組合方式。根據工藝的不同，可以在主機的基礎上配氣源柜、超凈工作臺、懸臂推拉舟等。    
    主要技術指標：
    ★ 爐管數：1～4管
    ★ 配工藝管口徑：Φ90～360 mm (3～12英寸)
    ★ 恒溫區(qū)長度： 760～1000 mm±1.0℃ (300～800℃)  760～1000 mm±0.5℃(800～1280℃)
    ★ 單點穩(wěn)定性： ±1.0℃/24h (300～800℃)    ±0.5℃/24h (800～1280℃)
    ★ 氣源路數：    ≤7路，可配恒溫源瓶、氫氧合成點火器
    ★ 氣體控制：    浮子/質量流量計
    ★ 懸臂舟參數： 速度：    20～1000 mm/min    最大行程：2000 mm    定位精度：±1 mm    最大載荷：17 Kg
    ★ 超凈工作臺： 凈化等級：100級（萬級廠房）
    噪音：    ≤62dB（A）
    振動：    ≤3μm
    晨立最新擴散爐設備新鮮出爐,技術和質量已達國際水平,受到半導體設備制造企業(yè)和半導體行業(yè)高度關注.可完全替代國外同規(guī)格高端產品滿足不同工藝的要求.

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