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    刻蝕機(jī)

    產(chǎn)品品牌

    泰龍電子

    規(guī)格型號(hào)：

    定制

    發(fā)貨期限：

    根據(jù)用戶實(shí)際需求發(fā)貨天

    庫(kù)       存：

    10

    產(chǎn)       地：

    中國(guó)-北京市

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價(jià)       格：

    ￥1.00
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌：泰龍電子

    型號(hào)：定制

    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備-刻蝕設(shè)備-反應(yīng)離子刻蝕機(jī)

    樣品臺(tái)尺寸：4英寸向下兼容，可擴(kuò)展至6英寸、8英寸、12英寸。
    工藝模式：反應(yīng)離。
    刻蝕材料：si / sin / sio2 / poly-s i / w / wsi /Mo /Ta / 磷硅玻璃 /石英/光刻膠 等。
    射頻電源：Power 功率5000w，F(xiàn)requency 頻率13.56MHz （可根據(jù)用戶實(shí)際需求定制化制造）。
    非均勻性：4英寸樣片小于±5%。
    氣路系統(tǒng)：標(biāo)配4路氣體，可根據(jù)用戶實(shí)際需求定制化。
    真空系統(tǒng)：Tmp & mechanicd pump 分子泵機(jī)組，本底真空優(yōu)于5×10 Pa。
    載片臺(tái)冷卻：水冷，He背冷可選。
    操作模式：菜單自動(dòng)/手動(dòng)模式。
    人機(jī)界面：windows環(huán)境、觸摸屏操作。

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