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    包郵 關注:5

    長行程納米位移臺

    應用于半導體行業(yè)：

    半導體輔助設備-工作臺-光學平臺

    產品品牌

    阿米精控

    規(guī)格型號：

    NH-XY-16A

    發(fā)貨期限：

    1~3個月天

    庫       存：

    10

    產       地：

    中國-山東省

    數       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
    交易保障 擔保交易 網銀支付

    品牌：阿米精控

    型號：NH-XY-16A

    所屬系列：半導體輔助設備-工作臺-光學平臺

    B長行程納米促動器01-01
           XY長行程納米促動器基于粘滑仿生運動原理及特殊設計的驅動和納米伺服技術，具有納米級重復定位精度，可實現數百mm的運動行程。該促動器結構緊湊，具有較高的保持力與長期的穩(wěn)定性，能夠實現跨尺度的納米定位和復雜的軌跡運動。

    支持面向不同應用和需求的產品開發(fā)與定制。

     

     

    技術特點：

    • 超長行程：10mm~數百mm

    • 高分辨率：傳感器分辨率為1.2nm

    • 超高精度：重復定位精度小于5nm

    • 運動速度：可達10mm/s

    • 高穩(wěn)定性：保持力可達8N

    • 超高真空兼容性；

    • 運動模式：支持開環(huán)與閉環(huán)

    • 輕量化、結構緊湊，高可靠性

    • 模塊化設計，摩擦單元可替換

     

    應用領域：

     

    • 掃描電鏡（SEM）樣品操縱

    • 主動光學

    • 超分辨成像樣品移動

    • 大范圍電子束直寫（EBL）

    • 微納裝備及制造

    • 集成電路制造與檢測

    • 高真空樣品精度對準及調姿

    • 納米聚焦與掃描

    • 顯微及納米CT

     

     

    規(guī)格參數：

     

     型號

     NH-XY-16A

     NH-XY-16B

     NH-XY-36A

     NH-XY-36B

     NH-XY-36MS

     運動軸

     X軸、Y軸

     X軸、Y軸

     X軸、Y軸

     X軸、Y軸

     X軸、Y軸

     傳感器類型

     光柵編碼器

     光柵編碼器

     光柵編碼器

     光柵編碼器

     光柵編碼器

     行程(mm)

     16

     16

     36

     36

     36

     保持力（N）

     5

     5

     5

     5

     5

     最大承載力（N）

     20

     20

     20

     20

     20

     尺寸（mm）

     52x52x22.5

     60x60x26.6

     52x52x22.5

     60x60x26.6

     60x60x26.6

     重量 ( g)

     150

     160

     150

     160

     160

     速度（mm/s）

     5

     5

     5

     5

     5

     分辨率（nm）

     1.22

     12.5

    1.22

    12.5

    12

     閉環(huán)重復定位精度（nm）

     5

    50

    5

    50

    50

     材料

     鋁合金/鈦合金

     真空度 (mBar)

     超真空兼容（5X10-9 ）

    納米定位平臺

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