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    等離子刻蝕設備 牛津PlasmaPro100 Polaris 高端刻蝕工藝

    產(chǎn)品品牌

    牛津儀器

    庫       存:

    20

    產(chǎn)       地:

    中國-北京市

    數       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
    交易保障 擔保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌:牛津儀器

    型號:

    所屬系列:半導體加工設備-刻蝕設備-高密度等離子體刻蝕機

    等離子刻蝕設備 牛津PlasmaPro100 Polaris 高端刻蝕工藝

    牛津儀器專(zhuān)業(yè)為中國企業(yè)、科研單位打造等離子刻蝕設備,可實(shí)現碳化硅深孔刻蝕工藝,深度達到
    100um以上

    精湛的精密刻蝕工藝 ,超過(guò)百家企業(yè),科研單位,選擇我們量身定制設備,歡迎來(lái)電咨詢(xún):010-57168280 趙小姐

    PlasmaPro100 Polaris
    1.深孔碳化硅刻蝕工藝的關(guān)鍵因素
    2.深孔碳化硅刻蝕工藝的關(guān)鍵技術(shù)開(kāi)發(fā)與成果
    3.達成深孔碳化硅刻蝕:設備需具有的關(guān)鍵條件
    4.Polaris具體設計的特點(diǎn)
    5.可操作在低功率低偏壓之起輝模式
    6.單晶片夾具解決方案
    7.Hardware Components-最在化抽氣鏈結
    8.從硬件設計與工藝角度,總結Polaris的優(yōu)異性能










    更多詳情請致電:010-56608810












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    qingqingyuan  2017-06-29

    應用于半導體行業(yè)的相關(guān)同類(lèi)產(chǎn)品:

    服務(wù)熱線(xiàn)

    4001027270

    功能和特性

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