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實(shí)驗(yàn)室擁有完整的晶體棒料檢測、晶體元件加工和檢測的硬件設(shè)備和晶體定向切割、元件成型和研磨拋光的工藝條件,目前可實(shí)現(xiàn)大尺寸晶體的定向切割(最大切割晶體尺寸為500*400*500㎜),定向精度優(yōu)于0.1°,以及最大6英寸晶體的高精度無應(yīng)力拋光(平面度1μm,粗糙度5nm)。另外可進(jìn)行平晶或彎晶晶體元件質(zhì)量的形貌檢測和晶體高指數(shù)面定向。
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