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    包郵 關(guān)注:513

    三氟甲烷

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體原材料-氣體類(lèi)原材料-蝕刻氣體

    庫(kù)       存:

    100

    產(chǎn)       地:

    全國(guó)

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌:

    型號(hào):

    所屬系列:半導(dǎo)體原材料-氣體類(lèi)原材料-蝕刻氣體

    CHF3簡(jiǎn)介

    產(chǎn)品名稱(chēng):三氟甲烷

    別稱(chēng):三氟甲/氟仿/氟里昂-23/HFC-23滅火劑

    分子式:CHF3

    管制類(lèi)型:不管制

    儲(chǔ)    存:密封保存

    包裝:采用鋼瓶充裝,35KG/瓶,也可根據(jù)用戶(hù)要求提供不同包裝。

    產(chǎn)品介紹

    純度 雜質(zhì)含量(ppm) 鋼瓶 閥門(mén) 備注
    99.9990%

    O2 ≤ 1.0, N2 ≤ 8.0, H2O ≤ 5.0, Acidity (as HF) ≤ 0.4,

    other Flons ≤ 10, CO2 ≤ 5.0

    47L CGA660 35KG/瓶
    類(lèi)別:有害氣體
    毒性分級(jí):低毒危險(xiǎn)特性:不燃。受熱分解釋出劇毒的煙霧。

    三氟甲烷,又稱(chēng)三氟甲,是一種無(wú)色、微味,不導(dǎo)電的氣體,是理想的鹵代烷替代物。

    三氟甲烷用途

    三氟甲烷,又稱(chēng)HFC-23,是一種高壓液化汽,可用作制冷劑,替代CFC-13(R13)。也可作為電子工業(yè)等離子體化學(xué)蝕刻劑及氟有機(jī)化合物的原料。

    注意事項(xiàng)及應(yīng)對(duì)措施

    本產(chǎn)品包裝鋼瓶為帶壓容器,運(yùn)載中應(yīng)避免撞擊、摔落。儲(chǔ)存于陰涼、通風(fēng)的不燃?xì)怏w專(zhuān)用庫(kù)房。遠(yuǎn)離火種、熱源。庫(kù)溫不宜超過(guò)30℃。應(yīng)與氧化劑、易(可)燃物分開(kāi)存放,切忌混儲(chǔ)。儲(chǔ)區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。

    泄漏應(yīng)急處理

    迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至上風(fēng)處,并進(jìn)行隔離,嚴(yán)格限制出入。建議應(yīng)急處理人員戴自給正壓式呼吸器,穿一般作業(yè)工作服。盡可能切斷泄漏源。合理通風(fēng),加速擴(kuò)散。漏氣容器要妥善處理,修復(fù)、檢驗(yàn)后再用。

    防護(hù)措施

    呼吸系統(tǒng)防護(hù):空氣中濃度料高時(shí),建議佩戴自吸過(guò)濾式防毒面具(半面罩)。

    眼睛防護(hù):一般不需特殊防護(hù)。

    身體防護(hù):穿一般作業(yè)工作服。

    手防護(hù):戴一般作業(yè)防護(hù)手套。

    其它:避免高濃度吸入。進(jìn)入罐、限制性空間或其它高濃度區(qū)作業(yè),須有人監(jiān)護(hù)。

    急救措施

    吸入:迅速脫離現(xiàn)場(chǎng)至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢。如呼吸困難,給輸氧。如呼吸停止,立即進(jìn)行人工呼吸。就醫(yī)。

    滅火方法:本品不燃。切斷氣源。噴水冷卻容器,可能的話將容器從火場(chǎng)移至空曠處。

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