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    電子行業(yè)-波束致、氣相沉積發(fā)熱體、電子槍、陰極等導(dǎo)鉬元器件

    庫(kù)       存:

    1000

    產(chǎn)       地:

    全國(guó)

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         半導(dǎo)體離子注入技術(shù)是一種材料表面改性高新技術(shù),在半導(dǎo)體材料摻雜,金屬、陶瓷、高分子聚合物等的表面改性上獲得了極為廣泛的應(yīng)用,在當(dāng)代制造大規(guī)模集成電路中是一種必不可少的手段。
     
          離子注入的優(yōu)點(diǎn)是能精確控制雜質(zhì)的總劑量、深度分布和面均勻性,而且是低溫工藝(可防止原來(lái)雜質(zhì)的再擴(kuò)散等),同時(shí)可實(shí)現(xiàn)自對(duì)準(zhǔn)技術(shù)(以減小電容效應(yīng))。




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