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    ULVAC蒸發(fā)臺

    應用于半導體行業(yè)：

    半導體加工設備-鍍膜設備-電子束蒸發(fā)

    產品品牌

    ULVAC

    庫       存：

    1

    產       地：

    日本

    數       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
    交易保障 擔保交易 網銀支付

    品牌：ULVAC

    型號：

    所屬系列：半導體加工設備-鍍膜設備-電子束蒸發(fā)

     品牌：ULVAC

    應用領域：IC,MEMS,LED,IGBT,SiC Power Device

    設備特點：本設備是用于在半導體或特種材料基板上進行金屬、ITO等材料蒸鍍的批處理式高真空蒸發(fā)鍍膜設備。 

    可通過觸摸屏進行集中操作控制，自動完成從真空排氣至鍍膜的所有過程。適用于半導體、LED、電力電子等行業(yè)芯片的科研及小批量生產。

    ?可搭載多種蒸發(fā)源 (EB, RH, EB + RH 等)

    ?可搭載多種夾具，對應不同工藝(lift-off, planetary, satellite 等)

    ?可搭載多種基板; 基板尺寸從2寸到6寸，材料為硅，玻璃等

    ?可通過 LCD 觸摸屏進行操作

    ?PC控制系統(tǒng)以及各種功能(工藝參數，記錄數據，維護保養(yǎng))

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