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1)半導體集成電路:去除晶片表面的有機物、顆粒、金屬雜質(zhì)、自然氧化層等
2)太陽能:制絨、硅片清洗、PSG清洗、石英管清洗、石墨舟清洗等
3)還適用于LED、分立器件、材料等行業(yè)
產(chǎn)品特點:
1)清洗系統(tǒng)分手動、半自動、全自動三大類。
2)手動與半自動清洗設備結(jié)構(gòu)合理緊湊,實用便捷;全自動清洗設備自動化程度高,觸摸屏操作,方便直觀,關鍵件進口,可靠性高
3)可根據(jù)不同的清洗工藝定制相應清洗設備
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