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    包郵 關(guān)注:2364

    RCA清洗機

    應用于半導體行業(yè):

    半導體清洗設備-標準清洗-RCA清洗機

    發(fā)貨期限:

    30天

    庫       存:

    30

    產(chǎn)       地:

    中國-江蘇省

    數       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
    交易保障 擔保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌:

    型號:

    所屬系列:半導體清洗設備-標準清洗-RCA清洗機

     1.主體構造特點(diǎn)

    ?●規范:本設備的設計、選購、制造、檢驗和測試均按照相關(guān)國家、半導體行業(yè)標準(SEMI-S2-93)執行,ISO9001質(zhì)量管理體系進(jìn)行規范和保證,但合同中或技術(shù)文件中另有規定的除外。外購配件執行相應的國家標準、行業(yè)標準、規范及企業(yè)標準;
    ?●設備包括:設備主體、電氣控制部分、化學(xué)工藝槽、純水清洗槽等;并提供與廠(chǎng)務(wù)供電、供氣、供水、排廢水、排氣系統配套的接口等。
    ?●主體:設備為半敞開(kāi)式,主體使用進(jìn)口WPP15和10mm厚板材,結構設計充分考慮長(cháng)期工作在酸腐蝕環(huán)境,堅固耐用,雙層防漏,機臺底盤(pán)采用德國產(chǎn)瓷白PP板,熱焊接而成,可長(cháng)期工作在酸堿腐蝕環(huán)境中;
    ?●骨 架:鋼骨架+PP德國勞施領(lǐng)板組合而成,防止外殼銹蝕。
    ?●臺面:高度為850mm;
    ?●儲物區:位于工作臺面左側,約280mm寬,儲物區地板有漏液孔和底部支撐;
    ?●安全門(mén):前側下開(kāi)透明安全門(mén),腳踏控制;
    ?●工藝槽:模組化設計,腐蝕槽、純水沖洗槽放置在一個(gè)統一的承漏底盤(pán)中。底盤(pán)采用滿(mǎn)焊接工藝加工而成,杜絕機臺的滲漏危險;
    ?●管路系統:位于設備下部,所有工藝槽、管路、閥門(mén)部分均有清晰的標簽注明;藥液管路采用PFA管,純水管路采用白色NPP噴淋管,化學(xué)腐蝕槽廢液、沖洗廢水通過(guò)專(zhuān)用管道排放;
    ?●電氣保護:電器控制、氣路控制和工藝槽控制部份在機臺頂部電控區,電氣元件有充分的防護以免酸霧腐蝕以保障設備性能運行穩定可靠;所有可能與酸霧接觸的電氣及線(xiàn)路均經(jīng)PFA防腐隔絕處理,電氣柜CDA/N2充氣保護其中的電器控制元件;
    ?●排 風(fēng):后部排風(fēng)和下沉式設計,風(fēng)量可調節,對操作員有安全保護;
    ?●送風(fēng):設備頂部有FFU百級凈化送風(fēng)裝置,設備沿前側板鑲嵌入墻體,保證后上部送風(fēng);
    ?●照明:工作區頂部配有雙光日光燈照明;
    ?●水汽槍?zhuān)簷C臺前部配備有PTFE純水槍和PTFE氮氣槍各1只置于右側,方便操作員手工清洗槽體或工件;
    ?●機臺支腳:有滑輪裝置及固定裝置,并且有高低調整及鎖定功能。
    ?●安全保障:完善的報警和保護設計,排風(fēng)壓力、液位、排液均有硬件或軟件互鎖,直觀(guān)的操作界面,清晰的信息提示,保障了生產(chǎn)、工藝控制和安全性三色警示燈置于機臺上方明顯處。

    2.安全保護
    ?●設備采用耐腐蝕導線(xiàn)并采用氟套管進(jìn)行保護,防腐防水;
    ?●設有防漏電斷路保護裝置;
    ?●電控部分正壓空體保護,防水防腐;
    ?●配有漏電流斷路保護裝置以及過(guò)溫過(guò)載保護裝置。
    ?●設備有可靠的接地裝置及緊急關(guān)機和報警系統;
    ?●EMO緊急開(kāi)關(guān)位于機臺上方明顯處。
    ?●蜂鳴器聲?shū)Q提示工作完成,三色報警燈及蜂鳴聲光故障報警;
    ?●機臺底部設有防漏盤(pán)及漏液感知;
    ?液位異常感知/安全液位保護;
    ?配有加熱保護,防干燒;


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