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自動(dòng)減薄機(jī)對(duì)工件盤上的工件進(jìn)行減薄,加工各種半導(dǎo)體材料的加工

型號(hào)：HRG-150，VRG-250/300/500

設(shè)備概敘：該設(shè)備有臥式和立式兩種主軸結(jié)構(gòu)，工作時(shí)砂輪與工件盤同時(shí)旋轉(zhuǎn)，并通過(guò)砂輪軸的Z方向運(yùn)動(dòng)（進(jìn)給由伺服電機(jī)控制），實(shí)現(xiàn)對(duì)工件盤上的工件進(jìn)行減薄加工，適合于各種半導(dǎo)體材料的加工。

應(yīng)用領(lǐng)域：

半導(dǎo)體材料：Si、Ge、GaAs、SiC、Sapphire、InP、GaN、MEMS、紅外材料等；

晶體材料：陶瓷基板、壓電晶體、光學(xué)玻璃、電子陶瓷、PDD、濾波材料等。

設(shè)備特點(diǎn)：

l 采用金剛石砂輪，加工效率高；

l 自動(dòng)砂輪修整裝置，實(shí)現(xiàn)對(duì)砂輪平面修整；

l 多段式加工程序，加工產(chǎn)品表面損傷低和翹曲度?。?/span>

l 多種加工程序的存儲(chǔ)，實(shí)現(xiàn)多種規(guī)格和不同材料產(chǎn)品的加工；

l 友好的人機(jī)界面對(duì)話，操作簡(jiǎn)單、方便；

l 可選配在線厚度測(cè)量裝置。

設(shè)備規(guī)格

型號(hào)	HRG-150	VRG-250	VRG-300	VRG-500
最大產(chǎn)品尺寸	6英寸	250mm	300mm	500mm
砂輪轉(zhuǎn)速(RPM)	0 - 3000	0 - 3000	0 - 3000	0 - 3000
工作盤轉(zhuǎn)速(RPM)	0-400	0-260	0-260	0-260
砂輪最大行程(mm)	70	100	100	100
研磨速度(μm/sec)	0.1 - 1000	0.1 - 1000	0.1 - 1000	0.1 - 1000
移動(dòng)量分辨率(μm)	0.1	0.1	0.1	0.1
精度(±μm)	1	1	1	2
重復(fù)精度(±μm)	1	1	1	1
在線厚度測(cè)量	可選	可選	可選	可選
自動(dòng)砂輪修整	可選	可選	可選	可選
設(shè)備尺寸(mm)	1400x780x1520	1100x950x1970	1200x1050x1970	1300x1400x2100
設(shè)備重量(Kg)	1400	1500	2000	3000

自動(dòng)減薄機(jī)對(duì)工件盤上的工件進(jìn)行減薄,加工各種半導(dǎo)體材料的加工

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

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