網(wǎng)站首頁(yè)

|EN

當前位置: 首頁(yè) » 設備館 » 半導體加工設備 » 爐類(lèi)設備 » 退火爐 »Activator150 SiC和GaN退火及石墨烯生長(cháng)
    包郵 關(guān)注:1426

    Activator150 SiC和GaN退火及石墨烯生長(cháng)

    應用于半導體行業(yè):

    半導體加工設備-爐類(lèi)設備-退火爐

    產(chǎn)品品牌

    Centrotherm

    庫       存:

    1000

    產(chǎn)       地:

    德國

    數       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    1000.00
    交易保障 擔保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌:Centrotherm

    型號:

    所屬系列:半導體加工設備-爐類(lèi)設備-退火爐

     

    Activator 150

    SiC和GaN退火及石墨烯生長(cháng)

     

    centrotherm Activator 150 高溫爐生產(chǎn)線(xiàn)專(zhuān)為硅-碳化合物(SiC)或鎵-氮化合物(GaN) 設備的后植入燒結而設計開(kāi)發(fā)。Activator 150 可用于多種類(lèi)型爐體, 如研發(fā)爐和批量生產(chǎn)爐, 且處理靈活性高。centrotherm 的無(wú)金屬加熱裝置的獨特設計允許處理溫度高達 1850 °C 同時(shí)縮短了工藝循環(huán)時(shí)間。由于占據空間小、購置成本低,所以 Activator 150 可實(shí)現生產(chǎn)具有成本效益。

     

    高活化率

    表面粗糙程度最小

    溫度最高達 1850°C

    批量規模高達 50硅片(150mm)

    加熱率最高達 150 K/min

    通過(guò)SiH4可實(shí)現硅“過(guò)壓

    咨詢(xún)

    購買(mǎi)之前,如有問(wèn)題,請向我們咨詢(xún)

    提問(wèn):
     

    加溫速度是多快???降溫裝置是什么?有現貨嗎?

    hjool  2017-07-24

    應用于半導體行業(yè)的相關(guān)同類(lèi)產(chǎn)品:

    服務(wù)熱線(xiàn)

    4001027270

    功能和特性

    價(jià)格和優(yōu)惠

    微信公眾號