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PEARL系列三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)——中小零部件精密檢測(cè)

該系列三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)采用先進(jìn)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和工藝技術(shù)，輕便高效，適用于中小零部件測(cè)量任務(wù)，滿足生產(chǎn)測(cè)量要求，具備最佳性價(jià)比。

機(jī)型的特點(diǎn)

n 橋式移動(dòng)結(jié)構(gòu)，人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)；敞開(kāi)的測(cè)量空間更具操作性；

n 三軸均采用天然花崗巖材料，具有一致的剛性和膨脹性；

n 內(nèi)置鋼絲的增強(qiáng)型同步帶，使整機(jī)具有優(yōu)良的動(dòng)態(tài)性能；

n 三軸空氣軸承全封閉設(shè)計(jì)，確保精度的長(zhǎng)期穩(wěn)定性；

n 可配置各種觸發(fā)、掃描測(cè)頭；

n 高分辨率光柵檢測(cè)系統(tǒng)；

n 可選配溫度補(bǔ)償系統(tǒng)。

規(guī)格型號(hào)

工作環(huán)境要求

測(cè)量機(jī)室的溫度：20℃±2℃；測(cè)量機(jī)室的濕度：25%-75%

測(cè)量機(jī)周?chē)h(huán)境的最大溫度梯度： 0.1℃/h ，0.1℃/m

機(jī)械振動(dòng)：

頻率0.2—2 Hz，振幅＜5×10-6m

頻率2—20 Hz，速度＜50×10-6m/s

頻率20—200 Hz，加速度＜5×10-3m/s2

供氣系統(tǒng)：

最小供氣壓力：0.6 Mpa 耗氣量：0.2 m3/min 氣管外徑：Φ6 mm

供電系統(tǒng)：

功耗：3 kw 電壓：220 v±5% 頻率：50 Hz

電流：15 A

專用地線電阻≤5 Ω

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應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

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