自動調(diào)整水平,臺面的高
度由空氣調(diào)節(jié)閥在桌面運動的激勵下維持和控制,把系統(tǒng)對微振的響應(yīng)反饋到系統(tǒng)中,改變隔振特性,當負載沿工作表面移動或發(fā)生突然變化時能夠使臺面自動維持水平。瞬間達到初始的平衡狀態(tài),提高光學隔振平臺的隔振效果。
◇ 平面不大于0.05mm/m2
◇ 表面粗糙度小于0.8um
◇ 固有頻率垂直1.2Hz-1.8Hz,水平1.2Hz-1.8Hz
◇ 振幅不大于1.2um
◇ 重復定位精度±0.05mm