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    磁控濺射鍍膜機 NSC-3500（A）全自動磁控濺射系統(tǒng) 那諾-馬斯特

    應用于半導體行業(yè)：

    半導體加工設備-鍍膜設備-磁控濺射機

    產品品牌

    那諾-馬斯特/Nano-Master

    庫       存：

    999

    產       地：

    美國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
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    品牌：那諾-馬斯特/Nano-Master

    型號：

    所屬系列：半導體加工設備-鍍膜設備-磁控濺射機

     

    NSC-3500(A)-1.png?

    NSC-3500（A）全自動磁控濺射系統(tǒng)概述：帶有水冷或者加熱(可加熱到700度)功能，可達到6"旋轉平臺，支持到3個偏軸平面磁控管。系統(tǒng)配套渦輪分子泵，極限真空可達10-7 Torr，15分鐘內可以達到10-6 Torr的真空。通過調整磁控管與基片之間的距離，可以獲得想要的均勻度和沉積速度。

    NSC-3500（A）帶有14”立方形不銹鋼腔體，3個2”的磁控管，DC直流和RF射頻電源。 在選配方面，350 l/s渦輪分子泵，額外的磁控管和襯底加熱功能。

     

    NSC-3500（A）全自動磁控濺射系統(tǒng)產品特點：

    • 不銹鋼腔體

    • 260l/s或350l/s的渦輪分子泵，串接機械泵或干泵

    • 13.56MHz，300-600W RF射頻電源以及1KW DC直流電源

    • 晶振夾具具有的<1 ?的厚度分辨率

    • 帶觀察視窗的腔門易于上下載片

    • 基于LabView軟件的PC計算機控制

    • 帶密碼保護功能的多級訪問控制

    • 完全的安全聯(lián)鎖功能

    • 預真空鎖以及自動晶圓片上/下載片

       

    選配項：

    • RF、DC濺射

    • 熱蒸鍍能力

    • RF或DC偏壓（1000V）

    • 樣品臺可加熱到700°C

    • 膜厚監(jiān)測儀

    • 基片的RF射頻等離子清洗

       

    應用：

    • 晶圓片、陶瓷片、玻璃白片以及磁頭等的金屬以及介質涂覆

    • 光學以及ITO涂覆

    • 帶高溫樣品臺和脈沖DC電源的硬涂覆

    • 帶RF射頻等離子放電的反應濺射


    型號：

    • NSC-4000：基于PC計算機全自動控制的獨立式系統(tǒng)

    • NSC-3500：基于PC計算機全自動控制的緊湊型獨立式系統(tǒng)

    • NSC-3000：PC計算機全自動控制的臺式系統(tǒng)

    • NSC-1000：半自動控制的臺式系統(tǒng)

    (以下為雙系統(tǒng)型號)

    • NSR-4000：濺射/RIE系統(tǒng)

    • NSP-4000：濺射/PECVD系統(tǒng)

    • NST-4000：濺射/熱蒸發(fā)系統(tǒng)

      NSC-4000(M)-1          NSC-4000(A)-1
       



    NSC-4000(A)-1NSC-4000(A)-1

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