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HVA 矩形閥 88200 系列
上海伯東美國 HVA 矩形閥門 88200系列矩形板閥是采用了直連驅(qū)動技術(shù)的接口閥，可靠使用壽命超過1百萬次。HVA 閘板閥專用于真空相關(guān)系統(tǒng)，起隔絕真空壓力的作用。HVA真空閘板閥外形尺寸小，設(shè)計緊湊，可靠應(yīng)用于生產(chǎn)線與過渡腔室（load-lock chamber），過渡腔室（load-lock chamber）與傳輸系統(tǒng)（handling system），傳輸系統(tǒng)（handling system）與工藝腔室（process chamber）等等，需要分隔真空壓力的地方。
HVA 88200 系列矩形真空板閥產(chǎn)品特點
1. 超百萬次可靠運行壽命
2. 不產(chǎn)生粉末，顆粒，防塵設(shè)計
3. 閥動作平穩(wěn),振動和沖擊小
4. 標(biāo)準(zhǔn)接口，或按客戶要求定制
5. 閥體材料經(jīng)過1E-6Torr,1100℃真空銅焊處理
6. 適用于1E-9Torr,200℃條件下
HVA 88200 系列矩形真空板閥技術(shù)參數(shù)
|
連接形式： |
標(biāo)準(zhǔn)或定制法蘭 |
|---|---|
|
主體材料： |
鋁 |
|
公稱通徑： |
DN32*222 mm-DN50*336 DN32*222 mm-DN100*1250 |
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漏率: |
2x10E-9 AtmCC/Sec |
|
壓力范圍: |
1x10E-9 Torr |
|
烘烤溫度: |
《150℃ |
|
適用介質(zhì)： |
水、蒸汽、空氣 |
|
密封形式： |
軟密封型 |
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驅(qū)動方式： |
氣動 |
|
使用壽命: |
1000000 啟閉次數(shù) |
28200＆88200系列矩形真空板閥訂貨號及2D & 3D 圖
|
DN |
Model |
|
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|||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
mm |
inch |
Number |
J (Bolted Body) |
K (Clamped Body) |
||||
|
32 x 220 |
1.26 x 8.74 |
28212-0109RX_ |
||||||
|
32 x 332 |
1.26 x 13.07 |
28212-0113RX_ |
||||||
|
46 x 236 |
1.81 x 9.29 |
28212-0209RX_ |
||||||
|
50 x 336 |
1.97 x 13.23 |
28212-0213RX_ |
||||||
HVA 28200＆88200 系列矩形真空板閥部件圖
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