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英國HHV科研用真空鍍膜系統(tǒng) Auto500
適合研究開發(fā)需求的多功能系統(tǒng)平臺(tái)
Auto500是一套多功能的真空鍍膜系統(tǒng)平臺(tái)，主要用于科學(xué)研究、技術(shù)開發(fā)或試生產(chǎn)。其真空腔室采用了前開門的箱式設(shè)計(jì)，可以容納大尺寸樣品。通過可選擇的設(shè)備配置能分別實(shí)現(xiàn)熱阻蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)及磁控濺射等各種物理氣相沉積工藝，甚至也可以將前面三種鍍膜工藝同時(shí)組合在一臺(tái)設(shè)備里。
真空腔室安放在內(nèi)部裝載有真空泵系統(tǒng)的基座上。系統(tǒng)的真空系統(tǒng)由觸摸屏操作顯示的PLC自動(dòng)控制。PLC顯示操作面板以及其他工藝附件的控制面板都集中安裝在真空腔室旁邊的19”標(biāo)準(zhǔn)控制機(jī)柜上，操作十分方便。
Auto500既可以只配置單個(gè)鍍膜源，也可以配置成多個(gè)不同的鍍膜源，其工藝配置靈活性非常高，并且也很容易進(jìn)行現(xiàn)場升級(jí)。
Auto500還可以配置一系列樣品承載臺(tái)，可實(shí)現(xiàn)樣品旋轉(zhuǎn)、傾斜、加熱、冷卻、偏壓等。
真空系統(tǒng)可選無油干泵、分子泵及低溫冷凝泵等。
  
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