網(wǎng)站首頁(yè)

|EN

首頁(yè) » 技術(shù)服務(wù)館 » 工藝方案設計 » 其他 » 正文

FIB雙束電鏡檢測

發(fā)表于:2020-02-26  作者:ioptee01  關(guān)注度:1170

       聯(lián)系方式:18951907529
       聚焦離子束雙束系統用于金屬、半導體、電介質(zhì)、多層膜結構等固體樣品上制備微納結構;高質(zhì)量定點(diǎn)TEM樣品制備;化學(xué)和晶體結構三維形態(tài)分析。

儀器功能介紹:

一:截面切割表征,可以在樣品進(jìn)行定點(diǎn)切割,并且配合EDS能譜分析表征其截面形貌與元素分布,可用于芯片等器件失效分析,或者實(shí)現對樣品材料的三維重構分析。

二:直寫(xiě)制備微納結構,可以于金屬、半導體等固體材料上制備線(xiàn)寬15nm以上的納米結構器件,可用于制備包括光子晶體結構,表面等離激元器件等。

三:配備Pt誘導沉積系統,可以在樣品定點(diǎn)區域沉積金屬Pt,可用于芯片修補,也可沉積制備納米圖形。
       
       四:制備TEM樣品,對樣品的進(jìn)行定點(diǎn)切片。

1582707493(1)
1582707579(1)
圖片1
圖片1圖片1
1582707596(1)

商家資料

提示:注冊 查看!

服務(wù)熱線(xiàn)

4001027270

功能和特性

價(jià)格和優(yōu)惠

微信公眾號