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    包郵 關(guān)注:1691

    OAI 800FSA型光刻機

    應用于半導體行業(yè):

    半導體加工設備-光刻設備-UV光刻機

    產(chǎn)品品牌

    OAI

    庫       存:

    10000

    產(chǎn)       地:

    全國

    數       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
    交易保障 擔保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌:OAI

    型號:

    所屬系列:半導體加工設備-光刻設備-UV光刻機

     

    800FSA型光刻機系統

     

    OAI 800FSA型光刻機是一種半自動(dòng)化的光學(xué)式頂面掩模對準器。它提供超精密(1μm-2μm)對準精度,并設計為以極具競爭力的價(jià)格大大超過(guò)任何可比的背面Aligner的性能。多功能800FSA型面罩Aligner非常適合用于小批量生產(chǎn),研發(fā)實(shí)驗室和大學(xué)。

    800FSA型掩模對準器可以配置多種OAI光源,功率高達2KW。掩模對準器工具可容納高達8英寸正方形的基板,并且晶片卡盤(pán)被定位成允許容易地裝載和卸載。這種經(jīng)濟實(shí)惠的面罩對齊器具有電動(dòng)自動(dòng)調平和自動(dòng)間隙設置。

    建立在振動(dòng)隔離平臺上,固定面罩支架組件保證對準精度和重復性。使用易于讀取的PLC觸摸屏簡(jiǎn)化操作。培訓時(shí)間短;操作者可以在不到一小時(shí)內有效地學(xué)習使用面罩對準器。

    Model 800FSA Topside Mask Aligner System

    光刻機Model800FSA Topside Mask Aligner 

    The OAI Model 800FSA Mask Aligner is a semi-automated, optical Topside mask Aligner. It delivers ultra-precise (1µm-2µm) alignment accuracy and is designed to greatly surpass the performance of any comparable backside Aligner at an extremely competitive price. The versatile Model 800FSA mask Aligner is ideal for use in low volume production, R&D labs, and universities.

    The Model 800FSA Mask Aligner can be configured with a wide variety of OAI light sources that range in power up to 2KW. The mask Aligner tooling can accommodate substrates up to 8-inch square, and the wafer chuck is positioned to allow for easy loading and unloading. This cost-effective mask Aligner features motorized auto leveling and auto gap setting.

    Built on a vibration isolation platform, the fixed mask holder assembly guarantees alignment accuracy and repeatability. Operation is simplified using the easy-to-read, PLC touch-screen. Training time is short; an operator can learn to use the mask Aligner effectively in less than one hour.

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    提問(wèn):
     

    能提供一下基片的尺寸范圍,分辨率、對準精度這些參數嗎?

    wole  2017-07-28

    您好, 感謝您咨詢(xún)我司代理美國OAI光刻機,
    基片的尺寸范圍: 8", 可以擴展9"
    分辨率、對準精度: 1UM

    聯(lián)系人: 廖先生 13538131258, QQ583129932

    2017-08-26

    請問(wèn)最大刻蝕深度多深?最深處刻寬多大?

    1346848  2017-07-26

    這個(gè)面罩對齊器的電動(dòng)自動(dòng)調平和自動(dòng)間隙設置一般時(shí)長(cháng)多長(cháng)??

    hunan347  2017-07-07

     你好,方便的話(huà)可以加下QQ聊下,方便交流。 QQ:583129932 廖經(jīng)理 電話(huà):13538131258

    2017-07-07

    應用于半導體行業(yè)的相關(guān)同類(lèi)產(chǎn)品:

    服務(wù)熱線(xiàn)

    4001027270

    功能和特性

    價(jià)格和優(yōu)惠

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