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    Kosaka 8寸臺階儀

    應用于半導體行業(yè)：

    半導體測試設備-表面形貌測試-臺階儀

    庫       存：

    10

    產       地：

    日本

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
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    品牌：

    型號：

    所屬系列：半導體測試設備-表面形貌測試-臺階儀


    Kosaka 8寸臺階儀

    ET4000A

    極佳重復性與線性度


    •  采用直動式探針；

    •  可避免圓弧補正誤差；

    •  可避免Bearing間隙誤差；

    •  段差測定再現(xiàn)性；

    •  1σ 0.2nm以內,但實際高速測試中可達0.1nm


    高分辨率


    •  縱軸最高分辨率0.1nm；

    •  橫軸最高分辨率0.1um；

    •  X測定速度可調：5μm~2mm/s；


    低測定力


    • 測定力在 10 ~ 500uN、 1~50mgf 可任意設定；

    • 可測定軟質材料面，如︰COLOR FILTER、SPACER、PI…等。

    超高垂直直線度

    • 可追溯性：通過ISO9000國際認證，可追溯NIST(USA)及NRLM(JAPAN) ，產品出廠皆有出廠測試認證報告；

    • 超高垂直直線度精度保證：局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm；

    • 可測定樣品的平面度、波紋度、翹曲度、內應力。

    真直度保證-1


    線性尺與時間取樣


    形狀及粗度解析果

    粗度規(guī)范對應：可對應各種國際新舊標準規(guī)范，測量參數(shù)多達60種；






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