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微細(xì)形狀測定機(jī)（臺(tái)階儀）

Step Height Measuring System

ET150K31

KOSAKA SE 500-59表面粗糙度測定機(jī)是一款KOSAKA新推出的經(jīng)濟(jì)型便攜式臺(tái)式兩用機(jī)型。根據(jù)您的需求任意組合，并可對(duì)多種零件表面的粗糙度，波紋度以及原始輪廓進(jìn)行多參數(shù)評(píng)定，是一款帶有專用控制器的高精度，高性能，表面粗糙度測量儀器，簡單操作，顯示一目了然。

ET150K31 組合

產(chǎn)品特性

· 設(shè)備主體花崗巖，低熱膨脹，低重心，自隔震

· 獨(dú)家專利的直動(dòng)式傳感器設(shè)計(jì)

· Z方向重復(fù)性1σ 0.2nm以內(nèi),但實(shí)際可達(dá)0.1nm

· Z方向線性度為±0.25% （樣品厚度＞ 2000A）；5A （樣品厚度≤2000A）

· 樣品臺(tái)的垂直直線度保證：局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm

· 高精度的X方向位移光柵尺控制，X方向最大測量長度100mm，Y方向最大移動(dòng)150mm

· 自帶三維測量功能

ET150K31的結(jié)構(gòu)

花崗巖低重心設(shè)計(jì)

極佳重復(fù)性與線性度

采用直動(dòng)式檢測方式
可避免圓弧補(bǔ)正誤差
可避免Bearing間隙誤差
臺(tái)階測定重復(fù)性：1σ 0.2nm以內(nèi),但實(shí)際可達(dá)0.1nm
Z方向線性度為±0.25% （樣品厚度＞ 2000A）；5A （樣品厚度≤2000A）

直動(dòng)式檢出器構(gòu)造

重復(fù)測量數(shù)據(jù) (10 times)

直動(dòng)式檢出器測量邊沿效應(yīng)

線性度
Vertical linearity（垂直線性度） : ±0.25% （樣品厚度＞ 2000A）；5A （樣品厚度≤2000A）
線性度計(jì)算公式：誤差范圍 / Z方向測量范圍
測量設(shè)備型號(hào) : ET-150系列
測試樣品為 :VLSI 和TAYLOR HOBSON 認(rèn)證的標(biāo)準(zhǔn)樣品
Taylor Hobson Step Height Mean Value : (2.454 ± 0.030)um
VLSI Step Height Mean Value : (946.8 ± 5.6) nm
VLSI Step Height Mean Value : (41.6 ± 0.7) nm

Taylor Hobson 標(biāo)準(zhǔn)樣

VLSI SHS-9400QC

VLSI SHS-440QC

高分辨率

縱軸最高分辨率0.1nm

橫軸最高分辨率0.1um
X測定速度可調(diào)：5μm~2mm/s

可測量超薄樣品、高深寬比樣品、多層臺(tái)階等

超高垂直直線度

垂直直線度：任何直線垂直方向上的偏移量稱為垂直直線度

可追溯性：通過ISO9000國際認(rèn)證，可追溯NIST(USA)及NRLM(JAPAN) ，產(chǎn)品出廠皆有出廠測試認(rèn)證報(bào)告

超高垂直直線度精度保證：
局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm

可測定樣品的平面度、波紋度、翹曲度、內(nèi)應(yīng)力

超高垂直直線度的優(yōu)勢

超高直線度國際認(rèn)證數(shù)據(jù)

位移光柵尺與時(shí)間取樣

ET150K31絕佳的設(shè)計(jì)，達(dá)到最佳的測量效果

設(shè)備主體花崗巖，低熱膨脹，低重心，自隔震
·最佳的測量穩(wěn)定性和設(shè)備穩(wěn)定、耐用性

直動(dòng)式檢測器
·最佳的測量重復(fù)性&線性度，確保各樣品臺(tái)階測量的精度、準(zhǔn)確度

樣品臺(tái)超高的垂直直線度保證
·進(jìn)一步提高臺(tái)階測量精度，確保樣品形狀不變形

樣品臺(tái)X方向光柵尺定位，最長測量距離100mm，最快測量速度5μm/s
·樣品周期性結(jié)構(gòu)不失真，長距離有利于測定多種國際參數(shù)

實(shí)時(shí)監(jiān)控測量位置

配備標(biāo)準(zhǔn)CCD：實(shí)時(shí)監(jiān)控測量位置

可選購TOP VIEW CCD，執(zhí)行高精度定位量測

形狀及粗度解析

粗度規(guī)范對(duì)應(yīng)：可對(duì)應(yīng)各種國際新舊標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范，測量參數(shù)多達(dá)60種

可測量臺(tái)階及傾斜度

超大測定力范圍
測定力在 10 ~ 500uN、 1~50mgf 可任意設(shè)定可測定軟質(zhì)材料面，如︰COLOR FILTER、SPACER、PI…等

觸針保護(hù)蓋板及方便更換

微細(xì)形狀測定機(jī)（臺(tái)階儀）ET150K31

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