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    半自動膜厚測量儀

    應用于半導體行業(yè)：

    半導體測試設備-測厚設備-非接觸式測厚儀

    庫       存：

    99

    產(chǎn)       地：

    全國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

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    品牌：

    型號：

    所屬系列：半導體測試設備-測厚設備-非接觸式測厚儀

     

    采用白光共焦技術，分辨率達到納米級，同時采用了光纖傳感器，具有抗干擾、低損耗、安全隔離、高可靠性等優(yōu)點

    機械精度達到微米級，運行平穩(wěn)，跳動小，磨損低

    Y向自動測量，重復精度1μm

     

     

     

    規(guī)格： 

     

    項目

    技術參數(shù)

    項目

    技術參數(shù)

    項目

    技術參數(shù)

    外觀尺寸

    650*500*600mm

    掃描最少步距

    2um

    重量

    100kg

    測量行程

    80mm

    最大掃描速度

    30mm/s

    噪音

    30db

    Z軸可調行程

    50mm

    檢測重復精度

    〈1.0um

    工作環(huán)境

    溫度22±2℃

    有效測量范圍

    80mm

    電源

    AC220V±10% 50HZ

    工作環(huán)境

    濕度45±5%

    柏先生/18929339897
    Jeff@effecttek.com
    易泛特技術（深圳）有限公司
    深圳市寶安區(qū)新橋街道匯聚新橋107創(chuàng)智園B207

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